Polaris Series 8英寸物理气相沉积系统
Polaris Series 8 Inch PVD System
- 设备特点
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- 多种材料膜层工艺能力，低损伤，高深宽比填充能力
- 独立工艺腔室，可支持6个工艺模块
- 良好的温度和颗粒控制能力
- 配置灵活、大产能、低运营成本
- 产品应用
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- 晶圆尺寸6、8 英寸
- 适用材料银、钨化钛、金、铂、钛、氮化钛、铝等
- 适用工艺倒装工艺、金属电极等
- 适用领域化合物半导体、半导体照明、硅基微型显示、科研领域
