VERIC A6151A SiC高温退火炉
VERIC A6151A SiC High-Temp Anneal Furnace
- 设备特点
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- 温度可达2000℃，升温速度快
- 激活率高，表面粗糙度小
- 水冷加热，环境温升小
- 石墨电阻加热，工艺腔室洁净
- 自动装片Cassette to Cassette
- 安全设计，符合CE，SEMI S6标准
- 产品应用
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- 晶圆尺寸4/6英寸兼容
- 适用材料碳化硅、氮化铝
- 适用工艺注入后激活、Ar退火、Ar/H₂退火、沟槽平滑
- 适用领域化合物半导体，衬底材料，科研
